由等離子體發生器稀有氣體形成的DBD等離子體不包含反應性粒子：
       等離子體發生器DBD等離子體是由2個放電電極中起碼一個被電介質覆蓋而成的等離子體，在2個電極之間施加中頻高壓交流電，使電極與物質或物質與物質之間的氣體形成放電擊穿。
       DBD是1種氣體放電，將絕緣性物質放入放電空間。介電材料可包覆或懸掛。電極結構的設計形式多種多樣。在實際應用中，圓柱形電極結構廣泛應用于各種化學反應器中，而平面電極結構廣泛應用于工業聚合物、金屬薄膜和板材的改性接枝、表面張力的提高、清潔和親水改性。

       絕緣性物質在放電過程中起著非常重要的作用，使放電均勻分布在整個放電空間中，形成穩定均勻的大氣壓等離子體。與此同時，由于絕緣性材料的存在，放電時形成的壁電荷有效地限制了放電電流的無限增長，避免了高壓下的電弧放電和火花放電。等離子體發生器稀有氣體形成的DBD等離子體不包含反應顆粒。因此，當材料表面改性采用稀有氣體DBD時，表面基團的引入主要是由于等離子體作用后的材料放置在空氣中時，等離子體作用在材料表面形成的大分子自由基與空氣中的物質結合而形成的。
       等離子體顆粒與表面原子或分子結合形成揮發性產物，從表面揮發，導致材料表面等離子體腐蝕。等離子體發生器改性技術在材料表面改性方面具有無污染的效果，是一項值得深入研究和廣闊應用前景的技術。等離子體發生器表面改性技術在材料科學研究和工業生產中肯定會發揮重要作用。