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CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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電漿清洗機(jī)引入不同氣體的工藝原理

       電漿清洗機(jī)是一種干式清洗工藝,處理后的材質(zhì)可以立即進(jìn)入下一個(gè)加工過(guò)程,因此,電漿清洗機(jī)是一種穩(wěn)定、高效的清洗工藝。因?yàn)殡姖{具有較高的能量,所以電漿表面層的化學(xué)物質(zhì)或有機(jī)污染物可以被分解,可能會(huì)干擾附著的雜質(zhì)被有效地去除,從而使電漿表面層達(dá)到后續(xù)涂裝工藝的要求。選用電漿清洗機(jī)等離子技術(shù),按工藝要求開(kāi)展表面層清洗,對(duì)表面層無(wú)機(jī)械損傷,不需化學(xué)溶劑的綠色環(huán)保工藝,脫模劑、添加劑、增塑劑或其他由碳?xì)浠衔锝M成的表面層污染可以去除。

電漿清洗機(jī)

       電漿清洗機(jī)誘導(dǎo)聚合是一種由活化顆粒在輝光放電條件下產(chǎn)生的普通(分子)聚合,它在材質(zhì)表面層形成目由基,然后與單體結(jié)合。結(jié)合方式包括分子鏈交聯(lián)或側(cè)鏈接枝、官能團(tuán)置換、嵌段聚合等。在等離子技術(shù)誘導(dǎo)聚合生成聚合物時(shí),單體必須具有諸如雙鍵、三鍵或環(huán)狀結(jié)構(gòu)等聚合結(jié)構(gòu)。
        反應(yīng)性氣體,如Ar、He、Hz等電漿清洗機(jī)所用的是活性氣體。這些氣體原子不直接進(jìn)入聚合物表面層的大分子鏈。但是,這些非反應(yīng)性氣體等離子技術(shù)中的高效率能量顆粒轟擊材質(zhì)表面層,傳送能量,產(chǎn)生大量的自由基。通過(guò)自由基作用于材質(zhì)表面層形成雙鍵和交聯(lián)結(jié)構(gòu),非活性氣體等離子技術(shù)在材質(zhì)表面層形成薄交聯(lián)層。
        選用稀有氣體開(kāi)展電漿清洗機(jī)表面處理時(shí),若處理后聚合物材質(zhì)自身含有O2,大分子在大分子斷裂分解后,大分子碎片進(jìn)入等離子技術(shù),為等離子系統(tǒng)提供O2,同時(shí)產(chǎn)生等離子技術(shù)效應(yīng)。假如材質(zhì)自身沒(méi)有O2,用惰性電漿清洗機(jī)技術(shù)處理后新生的自由基和空氣中的O2也會(huì)導(dǎo)致O2結(jié)合在大分子鏈上。結(jié)果表明,稀有氣體等離子技術(shù)在處理含氧聚合物材質(zhì)時(shí)會(huì)產(chǎn)生交聯(lián)腐蝕,并引入極性基團(tuán)。對(duì)于不含氧聚合物材質(zhì),只會(huì)在處理后與空氣中的O2開(kāi)展引入。

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