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射頻和中頻等離子電源在場景應(yīng)用上有什么不同：
中頻等離子電源40KHz以16位微控制器為核心中頻電源，以電力電子器件為功率輸出單元，選用數(shù)字分頻、鎖相、波形瞬時反饋，SPWM脈寬調(diào)制，IGBT輸出等新技術(shù)，選用模塊化結(jié)構(gòu)，負(fù)載適應(yīng)性強，效率高，穩(wěn)定性好，輸出波形質(zhì)量好，使用方便，體型小，重量輕，控制智能，保護功能異常，輸出頻率能調(diào)，輸出響應(yīng)快，過載能力強，輸出完全隔離，使用壽命長，抗損傷性能好。這種電源控制器使用在中頻等離子電源上面。
使用射頻等離子電源RF也就是說，我們的中頻等離子體電源RF射頻等離子電源的區(qū)別在于它們使用的匹配電源。RadioFrequency，或者簡稱RF。RF是RF電流，是交流變化的高頻電磁波英文簡稱。交流電在1000以下每秒時稱為低頻電流，10000以上時稱為高頻電流，射頻電流就是這種高頻電流。因此，我們將很容易區(qū)分這兩種類型的設(shè)備。
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